下载光发射装置及其制造方法的技术资料

文档序号:3238851

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本发明的一个目的是提供光发射装置的一种结构和制造方法,其降低保留在光发射装置内的水的量。本发明的另一个目的是提供一种光发射装置的结构和制造方法,其抑制光发射装置由于保留在光发射装置内的水而引起的恶化。本发明的光发射装置包括薄膜晶体管,覆盖薄...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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