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不具有钒控制的半绝缘碳化硅制造技术
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下载不具有钒控制的半绝缘碳化硅的技术资料
文档序号:3238791
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公开了一种碳化硅的半绝缘体单晶,它具有至少5000Ω-cm的室温电阻率和建立离价带或者导带至少700meV的能态的俘获元素浓度,该浓度低于影响晶体电阻率的量,优选低于可检测的水平。还公开了形成晶体的方法以及一些得到的器件,这些器件采用利用本...
该专利属于克里公司所有,仅供学习研究参考,未经过克里公司授权不得商用。
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