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半导体器件制造技术
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文档序号:3237837
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提供一种包括具有MIM结构的电容器的半导体器件,通过其来提高器件的尺寸精度,并且提供稳定的电容值。半导体器件(100)包括:半导体衬底(102);形成有MIM电容器的电容器形成区(130),其中MIM电容器具有形成在半导体衬底(102)上的...
该专利属于恩益禧电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩益禧电子股份有限公司授权不得商用。
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