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形成具有倾角导电层的方法技术
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文档序号:3237835
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本发明公开了一种形成具有倾角导电层的方法,利用较低的蚀刻温度约25℃~40℃的蚀刻液,或是温度不同的蚀刻液(例如:35℃~30℃/30℃~25℃),对于基板上的单一导电层或多层结构的导电层进行湿法蚀刻,以获得适当的导电层倾角。...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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