下载源极/漏极电极、晶体管衬底及其制造方法和显示装置的技术资料

文档序号:3237408

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在包含基板、薄膜晶体管半导体层、源极/漏极电极和透明像素电极的薄膜晶体管衬底中,所述源极/漏极电极包括铝合金薄膜,所述铝合金含0.1-6原子%的镍作为合金元素,并且直接连接到所述的薄膜晶体管半导体层上。...
该专利属于株式会社神户制钢所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社神户制钢所授权不得商用。

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