温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种碳化硅晶体生长坩埚，通过设置石墨柱将碳化硅颗粒原料隔开或采用石墨腔体分装碳化硅颗粒原料的方式将碳化硅颗粒原料分堆隔开，可减缓碳化硅晶体生长过程中陶瓷体的重结晶，避免陶瓷体由于重结晶导致其气孔道堵塞，同时碳化硅颗粒原料与碳化硅颗...
该专利属于宁波合盛新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波合盛新材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。