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本发明公开了一种温度自补偿的高灵敏度压力传感器阵列及其制备方法。现有的压力传感器芯片存在线性度和灵敏度低以及温度补偿困难的问题。本发明涉及压阻式压力传感器的单片微加工制备与阵列集成。该压力传感器阵列主要由分布在四个桥臂上的压力传感器芯片构成...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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