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本发明公开一种消除极化效应的金刚石中子探测器的制备方法,包含以下步骤:将金刚石体材料进行化学清洗和等离子表面处理;在金刚石体材料正表面生长氮化硅钝化层;利用高真空设备在金刚石正表面和背表面分别制备欧姆接触电极和极化电极,背面极化电极必须在金...该专利属于东华理工大学散裂中子源科学中心所有,仅供学习研究参考,未经过东华理工大学散裂中子源科学中心授权不得商用。
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本发明公开一种消除极化效应的金刚石中子探测器的制备方法,包含以下步骤:将金刚石体材料进行化学清洗和等离子表面处理;在金刚石体材料正表面生长氮化硅钝化层;利用高真空设备在金刚石正表面和背表面分别制备欧姆接触电极和极化电极,背面极化电极必须在金...