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本发明公开了一种确定化学机械研磨工艺研磨时间的方法，它可以根据模拟公式计算出当前新产品的条件键的值，进而可以计算出研磨时间，这样不但可以提高条件键值的准确性，提高良品率，而且可以节省成本。该方法的关键是根据现有产品的信息建立化学机械研磨的条...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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