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本发明涉及一种取送硅片的机械手，其特征在于：它包括一水平驱动机构，一垂直驱动机构、一旋转驱动机构和安装三个驱动机构的机架；水平驱动机构包括一水平驱动电机，水平驱动电机通过第一传动装置连接一沿两水平光杠水平移动的支架；垂直驱动机构包括一连接在...
该专利属于陈百捷;北京自动化技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过陈百捷;北京自动化技术研究院授权不得商用。

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