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提出一种流体设备（1），所述流体设备具有被构造用于容纳流体（6）的流体室（5），所述流体室共同地由设备壳体（3）和弯曲弹性膜元件（4）限定。所述膜元件（4）利用外围边缘区域（17）固定在所述设备壳体（3）处，其中通过压电执行器（7）在执行冲...
该专利属于费斯托股份两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过费斯托股份两合公司授权不得商用。

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