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本发明公开了一种基于纳米圆时栅的自标定方法，属于精密测量技术领域，该方法将1个纳米圆时栅作为核心测量元器件，该纳米圆时栅有传感单元Ⅰ和传感单元Ⅱ，将传感单元Ⅰ与传感单元Ⅱ互相作为参考，利用全组合测量法进行自标定实现交叉校准，可以通过多次循环...
该专利属于通用技术集团国测时栅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通用技术集团国测时栅科技有限公司授权不得商用。

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