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一种基板退火装置用的遮热板，具有：被水平地支承的平板状的基板（１），位于基板的上方、通过辐射热而加热基板上表面的加热器（５），能够在遮蔽基板和加热器之间的遮蔽位置和从遮蔽位置离开的开放位置之间水平移动的遮热板（１０）。遮热板（１０），包括：...
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