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惯性力传感器制造技术
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文档序号:3234313
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本发明提供一种惯性力传感器(50),其包括用以检测惯性力的检测元件(1),检测元件(1)具有:两个第1正交臂(52),其在实质正交方向上连结有第1臂(2)和第2臂(4);支承部(6),其支承两个第1臂(2);固定用臂(8);以及锤部(14)...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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