温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及自动控制的硅片检查系统，包括一操作台，操作台上有取送硅片的机械手、硅片盒平台、硅片表面检查机构、载物台、镜头组、抽真空装置，以及控制所述各装置的计算机系统。机械手包括水平、垂直、旋转三维动作机构，完成在某一高度下与水平运动方向成一...
该专利属于陈百捷所有，仅供学习研究参考，未经过陈百捷授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。