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本发明提供了一种利用激光同时测量多自由度几何误差的方法与系统。该系统包括：测量单元与靶镜单元，所述测量单元包括激光出射模块、偏振分光镜、固定反射器、第一至第二λ/4波片、第一检偏器、第一光电探测器、干涉测长模块和二维角度测量模块；所述靶镜单...
该专利属于北京交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京交通大学授权不得商用。

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