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改进的薄化法制造的玻璃绝缘体上的半导体制造技术
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下载改进的薄化法制造的玻璃绝缘体上的半导体的技术资料
文档序号:3232895
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制造玻璃上半导体(SiOG)结构的方法和设备,其包括:对给体半导体晶片的注入表面进行离子注入过程,在该给体半导体晶片中产生脱落层;采用电解使脱落层的注入表面与玻璃基片结合;将脱落层与给体半导体晶片分离,因而露出至少一个裂开的表面;和对至少一...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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