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纳米模塑方法，包括复制小于７纳米的特征尺寸的压印方法。该纳米模塑方法生产小于２纳米的所复制的特征的线边缘粗糙度。该纳米模塑方法包括以下步骤：ａ）形成其上形成有纳米级特征的第一基材，ｂ）将至少一种聚合物浇铸到该基材上，ｃ）将该至少一种聚合物固...
该专利属于陶氏康宁公司;伊利诺伊大学董事会所有，仅供学习研究参考，未经过陶氏康宁公司;伊利诺伊大学董事会授权不得商用。

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