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超表面光检测器制造技术
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文档序号:32324437
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一种光检测器包括基板(5),以及由基板(5)支持的被配置为充当光学谐振器并吸收频带的入射辐射,特别是红外辐射的构造(6)。构造(6)包括:面向入射辐射的谐振前侧结构(4);背侧结构(1),并且布置在前侧结构(4)和基板(5)之间;以及活性材...
该专利属于盛思锐股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛思锐股份公司授权不得商用。
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