下载一种用于消除被测样品表面不均匀荷电的装置及方法的技术资料

文档序号:32322015

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本发明提供一种用于消除被测样品表面不均匀荷电的装置及方法,所述装置的主结构包括:离子溅射靶和离子遮挡板(两者均采用惰性金属制成,且该主结构设置于光电子能谱系统的标准样品托上)。所述方法包括:将被测样品置于所述样品托上,且置于离子溅射靶与离子...
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