下载缺陷检测方法以及缺陷检测装置的技术资料

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提供一种缺陷检测方法以及缺陷检测装置。在缺陷检测装置中,通过摄像部取得基板的被检查图像,通过采用边缘提取滤波器使被检查图像提取二值化来提取边缘。然后,基于从被检查图像除去了边缘的边缘除去后图像的浓度曲线图,求出用于使被检查图像二值化来生成检...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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