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本发明涉及研磨技术领域，公开一种研磨头承载装置、研磨装置和研磨站。该研磨头承载装置包括板面相对布置的安装板和承载板以及连接在安装板和承载板之间的弹性支撑结构，弹性支撑结构将安装板和承载板之间保持设定间距，其中，安装板包括用于安装能够提供偏心...
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