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一种光交叉波导单元制造技术
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文档序号:32296522
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本发明属于集成光子器件领域,特别涉及一种光交叉波导单元,包括平板形光波导和至少两个条形光波导组,每个条形光波导组包括两个条形光波导,两个条形光波导分别为输入条形光波导和输出条形光波导;平板形光波导包括至少两个全内反射镜组,全内反射镜组与条形...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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