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本发明提供一种检测痕量六氟化硫的装置及方法，涉及光声光谱检测技术领域。本装置包括光声腔、主控制器、电磁阀和空气泵、信号处理系统、降温风扇，其中所述声光腔包括激光器、扩束镜、声光腔腔体；声光腔腔体其中包括上下反射板、进出气口、腔体、光纤、声压...该专利属于国网安徽省电力有限公司电力科学研究院平高集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国网安徽省电力有限公司电力科学研究院平高集团有限公司授权不得商用。