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本发明涉及晶片加工技术领域，公开了一种高基频晶片研磨工艺。本发明通过设置上料、装夹、开始研磨、降温、清理研磨碎屑、磁流变液回收利用和拆卸等步骤，通过采用磁流变液对晶片进行研磨的工艺设计，在使用时磁流变液能够降低与晶片进行研磨时硬性接触，防止...
该专利属于济源石晶光电频率技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济源石晶光电频率技术有限公司授权不得商用。

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