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本发明提供了一种具有杂散光消除功能的MEMS微镜、激光扫描设备和微镜的制作方法。具有杂散光消除功能的MEMS微镜，其特征在于，包括：框架结构，框架结构的表面设置有消光层，框架结构具有孔结构；扭转结构，扭转结构设置在孔结构处，且扭转结构与孔结...
该专利属于西安知微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知微传感技术有限公司授权不得商用。

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