下载硅基液晶显示芯片的像素单元存储电容器的技术资料

文档序号:3228569

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本实用新型涉及一种存储电容器,特别是用于集成电路中LCOS芯片像素单元的存储电容器,属于信息科学技术学科的微电子应用技术领域。它是NMOS型结构,包括二氧化硅绝缘层、P型硅衬底层、A点、B点、单层多晶硅,第1层多晶硅、栅氧化层,n型反型层、...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。

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