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本发明公开了一种多差分电容式微机械加速度传感器。该加速度传感器包括上极板、上结构敏感单元、中间极板、下结构敏感单元和下极板；上极板和上结构敏感单元上表面组成电容C1的上下极板，上结构敏感单元下表面和中间极板上表面形成电容C2的上下极板，C1...
该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

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