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在硅膜中心部位设置四端单元件力敏器件是利用某些特定形状的硅膜中心部分的应力变化缓慢的特点进行设计的．此设计可减少器件对工艺中定位偏差的敏感性．特别是提高了在小型化硅膜上制作器件的现实性．...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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