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本申请提供一种用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法。在衬底表面形成铝金属薄膜层。通过第一掩膜对所述铝金属薄膜层进行图案化处理形成铝金属电路层。在所述铝金属电路层远离所述衬底的表面形成氧化铝薄膜层。在所述衬底的表面制备超导材料薄膜层，所述超...
该专利属于网络通信与安全紫金山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过网络通信与安全紫金山实验室授权不得商用。

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