下载具有多区域能力的高温氮化铝加热器的技术资料

文档序号:32264232

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公开了电加热器装置的各实施例。在一个实施例中,电加热器装置包括:(a)第一导热层,其包括电绝缘材料;(b)一个或更多个导电加热元件,其设置在布置于所述第一导热层的顶面上的一个或更多个凹槽中;以及(c)第二导热层,其在所述一个或更多个加热元件...
该专利属于加州赛姆艾克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过加州赛姆艾克斯公司授权不得商用。

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