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插片机硅片上片位置检测装置制造方法及图纸
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文档序号:32261803
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本实用新型公开了一种插片机硅片上片位置检测装置,包括检测箱,所述检测箱的顶部中心处开设有通孔,所述通孔的内部滑动连接有滑杆,所述滑杆的顶端安装有检测头,所述滑杆的底端位于检测箱的内部安装有下底座,所述下底座的两侧均通过连接弹簧与检测箱的顶部...
该专利属于高佳太阳能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过高佳太阳能股份有限公司授权不得商用。
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