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本发明提供了一种激光加工装置、加工设备和加工方法，包括：激光调整模组，用于将第一激光束分成多个第一子激光束，将第二激光束分成多个第二子激光束，多个第一子激光束形成多个第一光斑，多个第二子激光束形成多个第二光斑，且任一第一光斑位于一第二光斑前...
该专利属于武汉帝尔激光科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉帝尔激光科技股份有限公司授权不得商用。

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