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测振仪制造技术
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文档序号:32255220
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本实用新型涉及一种测振仪,包括机台、驱动模块、传感器组件,其中:机台具有用于承载待测对象的承载面;驱动模块包括依次相连的三个驱动机构,驱动机构具有固定件和活动件,三个驱动机构的活动件方向两两垂直,且后一驱动机构的固定件安装于前一驱动机构的活...
该专利属于江西欧迈斯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西欧迈斯微电子有限公司授权不得商用。
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