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一种硅大圆芯片膜扩开加热装置制造方法及图纸
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下载一种硅大圆芯片膜扩开加热装置的技术资料
文档序号:3224429
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一种硅大圆芯片膜扩开加热装置,包括由内、外环、组成的硅大圆芯片膜扩开器,发热体、储热圆盘、安全外壳组成的加热圆盘,在扩开器与加热圆盘之间设有位移部件,使加热圆盘接近或离开扩开器,实现对膜片均匀受热软化,使硅大圆芯片已被分割的众多小芯片能充分...
该专利属于佛山市蓝箭电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市蓝箭电子有限公司授权不得商用。
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