下载无掩模被覆金属的方法的技术资料

文档序号:3224114

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

对已有金属图形进行被覆的无掩膜金属被覆法中,采用了隔离保护层来保护它下面的不希望覆盖其它金属的区域,以不使重金属在上沉积及随后扩散.选择该层的组成,使其具有经受处理和支撑金属被覆层的足够机械强度,以及具有经受金属溅散和扩散过程中高温的热牢固...
该专利属于国际商用机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商用机器公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。