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无掩模被覆金属的方法技术
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文档序号:3224114
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对已有金属图形进行被覆的无掩膜金属被覆法中,采用了隔离保护层来保护它下面的不希望覆盖其它金属的区域,以不使重金属在上沉积及随后扩散.选择该层的组成,使其具有经受处理和支撑金属被覆层的足够机械强度,以及具有经受金属溅散和扩散过程中高温的热牢固...
该专利属于国际商用机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商用机器公司授权不得商用。
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