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采用氮族元素聚合物半导体的薄膜场效应晶体管制造技术
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下载采用氮族元素聚合物半导体的薄膜场效应晶体管的技术资料
文档序号:3224059
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薄膜场效应管用MPX做开关半导体,M是至少一种碱金属,P是至少一种氮族元素,X从15到无穷.公开的金属绝缘半导体和金属半导体场效应管中半导体可掺0.5%的镍、铁或铭而不增加导电率也可掺杂0.5-1%以增加导电率.源与漏极下的区域掺杂2-3%...
该专利属于斯托弗化学公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯托弗化学公司授权不得商用。
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