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一种应用于氢冷发电机漏氢监测装置中的新型氢敏半导体器件，是由集成在一个硅片上的氢气测量管、加热电阻和控温二极管组成。该器件共四根引线，漏极与栅极共用一根，源极、加热电阻Ｒ－［２］端、控制二极管Ｐ极共用一根，其它为单独引出。该器件制造方法的特...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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