下载一种微电子光刻的光化生酸源的技术资料

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*** Ⅰ 本发明涉及一种新的光化产酸剂,它具有如(Ⅰ)的结构式,式中R=-H,-OH或-O-S(=O)↓[2]-Q部分;R↑[1]=-CH↓[2]OS(=O)↓[2]-Q或NO↓[2];R↑[2]=-CH↓[2]OS(=O)↓[2...
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