下载遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法的技术资料

文档序号:32230902

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本申请实施例提供一种遮挡件、掩模组件、蒸镀装置和蒸镀方法,遮挡件包括:承载部,包括承载框及连接于承载框内的承载梁;支撑柱,连接于承载梁并沿第一方向延伸成型;挡片,连接于支撑柱背离承载梁的一端。当遮挡件用于蒸镀工艺中时,可以利用承载框将遮挡件...
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