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将促进晶化的催化元素导入非晶硅膜中，在将已导入催化元素的非晶硅膜刻成图形后，进行晶化热处理。于是，该导入的催化元素只能有效地在岛状非晶硅膜内扩散。其结果，就得到具有按一个方向对齐的结晶生长方向及具有无晶界的高品质结晶性硅膜。利用此形成的结晶...
该专利属于夏普公司所有，仅供学习研究参考，未经过夏普公司授权不得商用。

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