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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3222856
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一种半导体器件,特别是交错型薄膜晶体管,包括:一种含N或P型杂质的半导体区;在半导体区之上或之下设置的一层,所述层含有催化元素,对非晶硅的晶化起加速作用,并具有基本与半导体区相同的形状;覆盖半导体区的基本上为本征的半导体层;覆盖半导体区的基...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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