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离子束电子中和器制造技术
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文档序号:3222827
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一种离子束中和器(150)具有一个电子源(210a-f)和一个将由电子源束的电子射向离子束(20)的电子反射器(226)。电源(200)将一个加速栅极(220)加偏压至适于将离开产生电子的灯丝(210a-f)的电子加速的电位。第二栅极(22...
该专利属于易通公司所有,仅供学习研究参考,未经过易通公司授权不得商用。
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