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一种化学机械抛光１０机包括一个混合器部件１２，该混合器部件在将抛光液引入抛光机１０的一个抛光部件１３之前，混合抛光液的各组分。在一个实施例中，从供给管１１３和１１４来的各组分在一导管１２１中合并，并流过一个静压轴向式混合器１２３，使各组分混...
该专利属于摩托罗拉公司所有，仅供学习研究参考，未经过摩托罗拉公司授权不得商用。

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