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本发明公开了一种氮化镓器件的制备方法及氮化镓器件，方法包括：在碳化硅衬底的上表面进行氢离子注入以在所述碳化硅衬底中形成离子损失层；对形成了所述离子损伤层的所述碳化硅衬底进行热退火处理，并进行清洗；在清洗结束后，在所述碳化硅衬底的上表面进行氮...该专利属于山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司授权不得商用。