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本发明属于二维材料气体传感器的技术领域,具体涉及二维薄层材料气体传感器、其制备方法及应用,本发明采用275nm氧化硅片作为器件衬底,通过机械剥离的方式将二维材料黏附在衬底上,以温和的紫外光还原溶液的方法在二维材料上沉积单原子,利用电子束蒸镀...该专利属于南京南欣医药技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京南欣医药技术研究院有限公司授权不得商用。
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本发明属于二维材料气体传感器的技术领域,具体涉及二维薄层材料气体传感器、其制备方法及应用,本发明采用275nm氧化硅片作为器件衬底,通过机械剥离的方式将二维材料黏附在衬底上,以温和的紫外光还原溶液的方法在二维材料上沉积单原子,利用电子束蒸镀...