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文档序号:3221723
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离子束中和的方法和设备。主子束中和器(44)位于离子处理台上游,包括约束离子束路径的密封结构(120)。电子源(126)位于密封结构内,向离子束发射电子。由密封结构支承的磁体阵列(124)产生用于把电子约束密封结构内运动的磁场。在密封结构内...
该专利属于艾克塞利斯技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾克塞利斯技术公司授权不得商用。
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