下载介质电容器的底层电极结构及其制造方法的技术资料

文档序号:3221653

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一种薄膜集成电路电极器件(20),包括基片(22)和支承在所述基片上的底层电极(24),所述器件的特征在于: 相互扩散区(38)包括具有退火的粘结金属和贵金属部分(52,54)的混合物的稳定晶格;和 在所述区域退火后沉积在所述区...
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