下载Bi层状结构强电介质薄膜的制造方法的技术资料

文档序号:3221646

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以Bi的有机化合物和金属聚烷氧基化合物的混合物为原料,用CVD等分子沉积法或旋转涂布-烧结法在基板表面形成Bi层状结构的强电介质薄膜的方法。在收容槽1a和1b中分别封入Sr[Ta(OC↓[2]H↓[5])↓[6]]↓[2]和Bi(OC(CH...
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