下载金属氧化物半导体场效应晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:3221346

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在MOSFET中,为了抑制由于热载流子而导致的晶体管特性退化,并提高器件的可靠性,通过在漏附近且在p型硅衬底上的n沟道区中连接两种具有不同功函数的材料形成第一和第二栅极,漏附近的反向阈值电压向负方向的漂移量为功函数差,该漂移量大于沟道区中的...
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